基板搬送装置及び基板処理システム

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大森純一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-233580
公開番号（公開出願番号）：特開2001-060609
出願日： 1999年08月20日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
要約：

【要約】【課題】簡単な構成で基板の静電破壊を防止することができる基板搬送装置及び基板処理システムの提供。【解決手段】副基板搬送装置としての各搬送アーム43には、それぞれ基板Gに向けて大量のイオンを放射する除電手段としてのイオナイザー44が配置されている。そして、例えば搬送アーム43がスピンチャック34から基板Gを受け取る前後、或いは搬送アーム43がスピンチャック34から基板Gを受け取り周辺部除去装置32へ移動する間等にイオナイザー44から基板Gに向けてイオンが放射され、除電が行われるようになっている。

請求項（抜粋）：

少なくとも第1の処理装置から第2の処理装置に基板を搬送する基板搬送装置において、前記基板を除電する除電手段を具備することを特徴とする基板搬送装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , B65G 49/06 , B65G 49/07 , H01L 21/027 , G03F 7/16 502

FI (5件)：

H01L 21/68 A , B65G 49/06 Z , B65G 49/07 C , G03F 7/16 502 , H01L 21/30 502 J

Fターム (24件)：

2H025AA18 , 2H025AB16 , 2H025AB20 , 2H025DA19 , 2H025EA04 , 2H025EA10 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA12 , 5F031GA03 , 5F031GA47 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031GA50 , 5F031MA02 , 5F031MA09 , 5F031MA26 , 5F031PA21 , 5F046CD01 , 5F046CD03 , 5F046CD06 , 5F046CD10

引用特許：

審査官引用 (5件)

基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-108329 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
物品受け取り方法および装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-039179 出願人：株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社
基板保持方法,基板保持装置及び基板処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-332288 出願人：東京エレクトロン株式会社

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