特許
J-GLOBAL ID：202103021285291982
ナノスケール光陰極電子源
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
生井 和平
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-217035
公開番号（公開出願番号）：特開2018-077940
特許番号：特許第6867568号
出願日： 2016年11月07日
公開日（公表日）： 2018年05月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 高コヒーレントな電子ビームを生成可能なナノスケール光陰極電子源であって、該ナノスケール光陰極電子源は、
レーザ光を照射可能なレーザ光源と、
前記レーザ光源からのレーザ光に対して透過性を有する基板と、
前記レーザ光源からのレーザ光に対して透過性を有する導電性材料からなり、前記基板のレーザ光が照射される側の面と対向する面上に形成され所定の電圧が印加される透明電極層と、
前記透明電極層に形成され光電変換材料からなるナノスケールの光陰極部と、
前記レーザ光源からのレーザ光の影響を抑制するために、光陰極部へレーザ光を照射するときと光陰極部を避けて基板と透明電極層を透過するレーザ光を照射するときとの差分を取るノイズ除去部と、
を具備することを特徴とするナノスケール光陰極電子源。
IPC (4件)：
H01J 37/073 ( 200 6.01)
, H01S 3/00 ( 200 6.01)
, H01J 1/34 ( 200 6.01)
, H01J 9/12 ( 200 6.01)
H01J 37/073
, H01S 3/00 A
, H01J 1/34
, H01J 9/12 A
出願人引用 (11件)
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特開昭56-138848
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特開平3-176953
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光電子放出材
公報種別：公開公報
出願番号：特願平3-258718
出願人：株式会社荏原総合研究所, 日本板硝子株式会社
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審査官引用 (11件)
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引用文献：
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