特許
J-GLOBAL ID：202103021466382572
オゾン処理装置およびオゾン処理方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小西 恵
, 永岡 重幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-222147
公開番号（公開出願番号）：特開2018-081981
特許番号：特許第6801388号
出願日： 2016年11月15日
公開日（公表日）： 2018年05月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 真空紫外線を透過する窓部材を有し、前記窓部材を通して前記真空紫外線を発する光源部と、
前記窓部材に対向配置し、被処理物体を載置するステージと、
前記窓部材と前記ステージとの間の空間であって、前記ステージに載置された前記被処理物体の表面が、オゾンを含む雰囲気中で前記光源部から発せられた前記真空紫外線に曝される処理空間を気密に封止するシール部材と、
前記シール部材の少なくとも一部に沿って当該シール部材を保護するためのバリアガスを供給するバリアガス供給部と、
前記窓部材の周縁部を支持する支持部材と、を備え、
前記シール部材は、前記支持部材と前記ステージの外周側面との間に配置され、当該ステージの外周側面に押し当てられて前記処理空間を気密に封止することを特徴とするオゾン処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/3065 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
, B08B 7/00 ( 200 6.01)
H01L 21/302 104 H
, H01L 21/304 645 D
, B08B 7/00
