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J-GLOBAL ID：202202232946379571   整理番号：22A1210718

プラズマ援用研磨法の開発(第25報)-RS-SiC材のSiC成分とSi成分の酸化レートの評価-

著者 (5件)： 陶通 (大阪大 大学院工学研究科) ,  孫栄硯 (大阪大 大学院工学研究科) ,  川合健太郎 (大阪大 大学院工学研究科) ,  有馬健太 (大阪大 大学院工学研究科) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2022  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.B86  発行年： 2022年03月02日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 反応焼結SiC(RS-SiC)は,優れた機械特性と熱特性を有するため,金型や光学ミラーデバイス材料として有望である.当該研究グループでは,RS-SiCの高品質な仕上げ研磨を実現するために,プラズマ照射と軟質砥粒除去を組み合わせたプラズマ援用研磨法(PAP)の適用を提案した.本報では,O₂含有減圧アルゴンプラズマの照射による,RS-SiC中のSiC成分とSi成分の酸化レートを,原子間力顕微鏡(AFM)を用いて定量的に評価した.(著者抄録)

シソーラス用語： 研磨 ,  炭化ケイ素 ,  酸化 ,  *反応焼結 ,  鏡 ,  金型 ,  仕上 ,  プラズマ曝露 ,  *砥粒 ,  アルゴン ,  原子間力顕微鏡
準シソーラス用語： SiC ,  *プラズマ援用研磨法 ,  ミラー ,  研磨仕上

分類 (4件)： 研削  (QC03000R) ,  特殊加工  (QC04000Y) ,  顕微鏡法  (BK01040E) ,  研削・研摩材  (YC06020Q)

引用文献 (2件)：

• 須山章子,他, 東芝レビュー 58 (2003) 46.
• Deng. H, et al, Current Applied Physics. 12(2012) S24-S28.

タイトルに関連する用語 (6件)： プラズマ援用研磨法 ,  開発 ,  SiC ,  酸化 ,  レート ,  評価