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J-GLOBAL ID：202202233979125004   整理番号：22A1210709

中性子集光用高精度Wolterミラーマンドレルの作製(第13報)-PCVM加工後の表面粗さ悪化要因の究明とその対策-

著者 (8件)： 須場健太 (大阪大) ,  山本有悟 (大阪大) ,  川合健太郎 (大阪大) ,  有馬健太 (大阪大) ,  山村和也 (大阪大) ,  丸山龍治 (日本原子力研究開発機構) ,  曽山和彦 (日本原子力研究開発機構) ,  林田洋寿 (総合科学研究機構 中性子科セ)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集(CD-ROM)  (精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(CD-ROM))
巻： 2022  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.B27  発行年： 2022年03月02日 
JST資料番号： Y0914B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 中性子顕微鏡の実現にあたり,その強度不足を補填する高効率で中性子線を結像可能なミラーデバイスの開発が求められる.大気圧マイクロ波プラズマジェットを用いたPCVM(Plasma Vaporization Machining)は,サブミクロンオーダの形状精度が要求される合成石英製Wolter I型ミラーマンドレル加工への応用が期待される.本報では,PCVM加工後に見られる表面粗さの悪化要因の究明とその対策に関して報告する.(著者抄録)

シソーラス用語： 中性子 ,  反射鏡 ,  マンドレル ,  プラズマジェット ,  *顕微鏡 ,  表面粗さ ,  形状精度 ,  結像 ,  鏡 ,  効率 ,  中性子ビーム
準シソーラス用語： Wolterミラー ,  *マイクロ波プラズマジェット ,  ミラー ,  高効率 ,  大気圧プラズマジェット ,  *中性子集束ミラー ,  中性子線

分類 (6件)： 中性子回折法  (BK01060A) ,  顕微鏡法  (BK01040E) ,  その他の粒子光学  (BD02080I) ,  光の像形成  (BD03050I) ,  光の屈折,反射,分散,偏向,吸収,透過  (BD03020B) ,  その他の光学機器  (QF05060C)

引用文献 (6件)：

• N. Kardjilov, et al., Nature Phys. 4 (2008) 399-403
• 中性子イメージングカタログ, 中性子応用専門委員会 2018年3月
• 小林久夫, RADIOISOTOPES. 56 (2007) 207-210.
• S. Arakawa, et al., The 8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology, B18 (2019).
• S. Arakawa, et al., 2020年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 (2020).

タイトルに関連する用語 (9件)： 中性子 ,  集光 ,  Wolterミラー ,  マンドレル ,  作製 ,  表面粗さ ,  悪化 ,  要因 ,  対策