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J-GLOBAL ID：202202260748119366   整理番号：22A1206882

バイオセンサ・触覚センサ応用に向けたカンチレバーアレイチップの設計と試作評価

Design and Prototyping of Cantilever-array Chip for Biological or Tactile Sensor

著者 (7件)： 水戸部龍介 (新潟大) ,  長谷川拓海 (新潟大) ,  高橋悠矢 (京都工繊大) ,  紙谷虎太郎 (京都工繊大) ,  安部隆 (新潟大) ,  野田実 (京都工繊大) ,  寒川雅之 (新潟大)
資料名： 電気学会研究会資料(Web)  (Papers of Technical Meeting, IEE Japan (Web))
号： TER-22-029.031-041/MSS-22-001.003-013 交通・電気鉄道研究会/マイクロマシン・センサシステム研究会  ページ： 25-29 (WEB ONLY)  発行年： 2022年02月28日 
JST資料番号： U2358A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 蛋白質と,表面MEMSプロセスで作製したカンチレバー構造を用いて接触力を検出する触覚センサとの相互作用によって応力を検出する機械式バイオセンサを開発した。本研究では,マイクロ流体チャネルと多周波数特性を有する触覚センサアレイを用いた集積バイオセンサアレイに応用するための,カンチレバーの4×4アレイを有する新しいプロトタイプアレイセンサチップの設計と製作を行った。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *片持梁 ,  バイオセンサ ,  触覚センサ ,  *センサアレイ ,  マイクロチャネル ,  周波数特性 ,  MEMS
準シソーラス用語： *アレイセンサ ,  *マイクロカンチレバー ,  マイクロ流路

分類 (1件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

引用文献 (3件)：

• 寒川雅之: 「医療・ヘルスケア用センサの高付加価値化と MEMS を用いた小型化・コスト低減”, 生体情報センシングデバイス~センサ設計開発に求められる要素技術・課題と対策ノウハウ~」, 第8節, pp.165-177, 情報機構 (2018)
• R. Kaneta, T. Abe, and M. Sohgawa: “Sensitivity Improvement of MEMS Tactile Sensor by Redesign of Microcantilever”, The Proceedings of JSME annual Conference on Robotics and Mechatronics (Robomec), 1P2-N09 (2020) (in Japanese) 金田連・安部隆・寒川雅之:「マイクロカンチレバーの設計改良によるMEMS触覚センサの感度向上」, ロボティクス・メカトロニクス講演会, 1P2-N09 (2020)
• R. Kaneta, T. Hasegawa, J. Kido, T. Abe, and M. Sohgawa: “Size Effect of Redesigned Microcantilever to Sensitivity Improvement for MEMS Tactile Sensor”, J. Robot. Mechatron., Vol.34, No.3 (2022) (accepted)

タイトルに関連する用語 (6件)： バイオセンサ ,  触覚センサ ,  応用 ,  設計 ,  試作 ,  評価