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J-GLOBAL ID：202202272745169135   整理番号：22A1043687

c-C_4F_8誘導結合プラズマのプラズマ動力学の再検討【JST・京大機械翻訳】

Plasma kinetics of c-C₄F₈ inductively coupled plasma revisited

著者 (4件)： Levko Dmitry (Esgee Technologies Inc., Austin, Texas 78746) ,  Shukla Chandrasekhar (Esgee Technologies Inc., Austin, Texas 78746) ,  Suzuki Kenta (Esgee Technologies Inc., Austin, Texas 78746) ,  Raja Laxminarayan L. (Department of Aerospace Engineering and Engineering Mechanics, The University of Texas at Austin, Austin, Texas 78712)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 40  号： 2  ページ： 022203-022203-19  発行年： 2022年 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,プラズマエッチング応用における最も重要なガスの一つであるペルフルオロシクロブタン(c-C_4F_8)のプラズマ動力学を改善した。包括的有限速度化学反応機構と結合した自己無撞着プラズマ流体シミュレーションモデルを用いた。最初に,文献に見られるプラズマ化学反応の既存のメカニズムの欠陥と,これらの機構を改善する方法を論じた。第2に,純粋c-C_4F_8における誘導結合プラズマの自己無撞着シミュレーション結果を,ガス電子会議参照セルプラズマ反応器を用いて得た実験結果と比較する。最後に,プラズマパラメータに対する表面反応メカニズム,ガス圧力,放電パワー,および電子確率加熱長さスケールのような様々なモデルパラメータの影響を解析した。これらのパラメータが支配的なプラズマ種の動力学にどのように影響するかを議論した。Copyright 2022 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *プラズマ ,  シミュレーション ,  プラズマ流 ,  シミュレーションモデル ,  動力学 ,  反応機構 ,  プラズマパラメータ ,  遠隔会議 ,  *誘導結合プラズマ ,  プラズマ化学反応 ,  プラズマエッチング
準シソーラス用語： 放電電力 ,  モデルパラメータ ,  ガス圧 ,  プラズマリアクタ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (3件)： 誘導結合プラズマ ,  プラズマ ,  動力学