特許
J-GLOBAL ID：202203001377864462
内部検査装置及び内部検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
近藤 充和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2021-075143
公開番号（公開出願番号）：特開2022-169238
出願日： 2021年04月27日
公開日（公表日）： 2022年11月09日
要約：
【課題】被検査物体の内部の構造や欠陥の形状を高分解能で検査可能な内部検査装置及び内部検査方法を提供する。
【解決手段】被検査物体1に向けてミリ波を放射し、そこからの反射波を受信するミリ波送受信アンテナ2と、それに接続されたミリ波送受信回路3と、被検査物体1を移動する移動手段である電動ステージ4とを備え、被検査物体1とミリ波送受信アンテナ2との間の複数の相対的に異なる位置に対して受信した複数のミリ波信号と、それらの複数の相対的に異なる位置を示す位置データを用いて合成開口処理を行う合成開口処理手段をパーソナルコンピュータ5に備えている。予め設定した移動間隔で被検査物体1から反射するミリ波信号を受信し、合成開口処理手段により被検査物体1の内部の構造又は内部の欠陥の形状を求め、表示部6に表示する
【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被検査物体に向けてミリ波を放射し、前記被検査物体から反射するミリ波信号を受信するミリ波送受信アンテナと、
前記ミリ波送受信アンテナに接続されたミリ波送受信回路と、
前記ミリ波送受信アンテナ又は前記被検査物体の少なくとも一方を移動させる手段、又は複数の前記ミリ波送受信アンテナを備える手段、の少なくとも一方の手段を備えることにより、前記被検査物体と前記ミリ波送受信アンテナとの間の複数の相対的に異なる位置で前記ミリ波を放射して前記反射するミリ波信号を受信する手段と、
前記受信した複数のミリ波信号と、前記複数の相対的に異なる位置を示す位置データとを用いて合成開口処理を行う合成開口処理手段と、
表示手段と、
を有し、
予め設定した前記複数の相対的に異なる位置で前記被検査物体から反射するミリ波信号を受信し、前記合成開口処理手段により前記被検査物体の内部の構造又は内部の欠陥の形状を求め、前記表示手段に表示することを特徴とする内部検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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