特許

J-GLOBAL ID：202203007268850484

ビームプロファイルモニタ

発明者： 北村 遼 ,  平野 耕一郎
出願人/特許権者： 国立研究開発法人日本原子力研究開発機構
代理人 (3件)： 堀 城之 ,  前島 幸彦 ,  村上 大勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2021-111947
公開番号（公開出願番号）：特開2022-027504
出願日： 2021年07月06日
公開日（公表日）： 2022年02月10日
要約：

【課題】荷電粒子ビームとの間の相互作用によるプローブの熱負荷が大きな場合であっても、荷電粒子ビームのビームプロファイルを安定して測定する。 【解決手段】ダクト20の内部を紙面垂直方向上向き又は下向きに荷電粒子ビームのバンチBが通過する。このバンチBがビームプロファイルの測定対象となる。ここでは、導電性のプローブ10A、10Bが用いられており、ビーム照射時において各々に誘起される電流が測定可能とされる。これによって、荷電粒子ビームの横方向(x方向、y方向)のビームプロファイルが測定される。ダクト20よりも左側には、縦方向のビームプロファイルの測定のために、コリメータ30、RFデフレクタ電極40、コリメータ50、電子検出器60、偏向電磁石70が設けられている。プローブ10A、10Bは、高配向性グラファイトで構成される。 【選択図】図1

請求項（抜粋）：

荷電粒子ビームの進行方向と交差する方向に延伸し、前記荷電粒子ビームに照射された際の特性によって前記荷電粒子ビームのビームプロファイルを測定するために用いられる導電性のプローブが用いられるビームプロファイルモニタであって、 前記プローブが、モザイクスプレッド値が10°以下である高配向性グラファイトで構成されたことを特徴とするビームプロファイルモニタ。

IPC (2件)：

G01T 1/29 ,  H01J 37/244

FI (2件)：

G01T1/29 A ,  H01J37/244

Fターム (9件)：

2G188BB04 ,  2G188BB05 ,  2G188BB07 ,  2G188BB13 ,  2G188BB14 ,  5C101EE28 ,  5C101GG15 ,  5C101GG25 ,  5C101GG31

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 実用新案登録第3105335号