特許
J-GLOBAL ID：202203008963102282
加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
青木 宏義
, 天田 昌行
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-000227
公開番号（公開出願番号）：特開2019-121675
特許番号：特許第7057673号
出願日： 2018年01月04日
公開日（公表日）： 2019年07月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ウェーハを収容する開口を有するプレートの外周に90度間隔で4つの辺を形成したリングフレームにウェーハを収容して粘着テープを介して一体化したフレームユニットを保持する保持手段と、該保持手段を回転させウェーハに液体を供給し所定の処理を施す加工装置であって、 該保持手段は、ウェーハ領域を吸引保持するウェーハ保持部と、リングフレームの該4つの辺に対応した4つの爪部とを備え、 該4つの爪部は、向かいあう2つの該爪部の間隔がリングフレームの向かいあう2つの辺の距離より大きいとともにリングフレームの最外周の直径より小さく形成された先端部と、リングフレームを支持する基部とを備え、 該基部には収容されたフレームユニットを該保持手段が回転する方向と逆方向に回転させてリングフレームの最外周が当たって固定される固定溝が形成されている加工装置。
IPC (3件)：
H01L 21/683 ( 200 6.01)
, H01L 21/304 ( 200 6.01)
, H01L 21/301 ( 200 6.01)
H01L 21/68 N
, H01L 21/304 643 A
, H01L 21/304 648 A
, H01L 21/304 648 Z
, H01L 21/78 N
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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