支持基台

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人酒井国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-005826
公開番号（公開出願番号）：特開2019-123050
特許番号：特許第7045861号
出願日： 2018年01月17日
公開日（公表日）： 2019年07月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】板状の被加工物を支持する支持基台であって、接着部材が積層され、接着部材が被加工物に貼着されることにより、被加工物を固定する支持面と、該支持面と反対側の面でチャックテーブルの保持面に載置される載置面とを備え、該支持面に開口した複数の貫通孔が設けられた平板状の箱体と、該箱体に収容される温度測定ユニット及び該温度測定ユニットの電源となる電池と、を備え、該温度測定ユニットは、該支持面の温度を測定するとともに、該貫通孔と対応して複数設けられた温度測定器と、該温度測定器で測定した温度を記録する記録部と、を備え、該温度測定器が、それぞれ、先端が互いに接続されかつ該貫通孔を通して該接着部材に取り付けられた一対の金属線を備える支持基台。

IPC (3件)：