特許
J-GLOBAL ID：202203013195156568
スパッタ装置用カソードユニット
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人前田特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-027964
公開番号（公開出願番号）：特開2019-143193
特許番号：特許第7020646号
出願日： 2018年02月20日
公開日（公表日）： 2019年08月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ターゲットが保持されるバッキングプレートが設けられたカソード本体と、 前記カソード本体を収容し、バッキングプレートを露出するカバー開口部を端面に有し、前記カソード本体と絶縁されたカバーと、 前記カバーの端面を覆い、前記カバー開口部と重なる位置にオリフィス開口部を有するオリフィスと、 前記カバー開口部から露出した空間にガスを供給するガス供給路とを備え、前記カバーの端面には、ガス供給開口部が設けられており、 下記の式1の条件を満たす、スパッタ装置用カソードユニット。0.4≦V/S≦10 ・・・ (式1) 但し、Sはターゲットの有効表面積であり、Vは前記カバー開口部から露出した空間の体積と、前記カバーと前記オリフィスとの間の空間の体積との和である。
IPC (1件)：
FI (2件)：
C23C 14/34 C
, C23C 14/34 M
