特許
J-GLOBAL ID：202203014107464629

重合性モノマー、樹脂、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法

発明者：
嶋田 雅彦

嶋田 雅彦 について

, 
市川 幸司

市川 幸司 について


出願人/特許権者：
住友化学株式会社

住友化学株式会社 について


代理人 (1件)： 新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-012855
公開番号（公開出願番号）：特開2018-135507
特許番号：特許第7015700号
出願日： 2018年01月29日
公開日（公表日）： 2018年08月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】式(I)で表される重合性モノマー。 [式(I)中、 環W1は、炭素数3~36の脂環式炭化水素基を表し、該脂環式炭化水素基に含まれる水素原子は、ヒドロキシ基、炭素数1~12のアルキル基、炭素数1~12のアルコキシ基、炭素数2~13のアルコキシカルボニル基、炭素数2~13のアルキルカルボニル基、炭素数2~13のアルキルカルボニルオキシ基、炭素数3~12の脂環式炭化水素基、炭素数6~10の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基で置換されていてもよい。 Xa及びXbは、それぞれ独立に、酸素原子又は硫黄原子を表す。 L1は、置換基を有してもよい炭素数1~12の炭化水素基を表す。 R1は、水素原子又は炭素数1~18の1価の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O- 、-S-、-CO-又は-S(O)2-に置き換わっていてもよい。 R3は、水素原子又はメチル基を表す。 X1は、式(X1-1)~式(X1-8)のいずれかで表される基を表す。 A1は、単結合又は炭素数1~24の2価の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれる-CH2-は、-O-又は-CO-に置き換わっていてもよい。] (式(X1-1)~ 式(X1-8)中、 L11、L15及びL17は、それぞれ独立して、炭素数1~6のアルカンジイル基を表す。 L13は、単結合又は炭素数1~6のアルカンジイル基を表す。 L12、L14、L16及びL18は、それぞれ独立して、-O-、-CO-、-CO-O-、-O-CO-又は-O-CO-O-を表す。但し、L13が単結合の時、L14は、-CO-又は-CO-O-を表す。 *、**は結合手であり、**はA1との結合手を表す。)
IPC (4件)：
C08F 220/26 ( 200 6.01) ,  G03F 7/039 ( 200 6.01) ,  G03F 7/004 ( 200 6.01) ,  G03F 7/20 ( 200 6.01)
FI (5件)：
C08F 220/26 ,  G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/20 521
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示
引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM