特許
J-GLOBAL ID:202203017567157693
汚れ測定システム、及び汚れ測定方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
特許業務法人 佐野特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2021-018506
公開番号(公開出願番号):特開2022-121250
出願日: 2021年02月08日
公開日(公表日): 2022年08月19日
要約:
【課題】測定対象の被測定面の汚れを効率的に測定する。
【解決手段】測定対象の被測定面の汚れレベルを測定する汚れ測定システムは、撮像部と、検査装置と、汚れ測定装置と、を備える。撮像部は、測定対象の被測定面を撮像する。検査装置は、被測定面上に載置されて被測定面の汚れ度合いを検査する。汚れ測定装置は、撮像部の撮像データと前記検査装置の検査結果とを用いて被測定面の汚れレベルを決定する。
【選択図】図1
請求項(抜粋):
測定対象の被測定面を撮像する撮像部と、
前記被測定面上に載置されて前記被測定面の汚れ度合いを検査する検査装置と、
前記撮像部の撮像データと前記検査装置の検査結果とを用いて前記被測定面の汚れレベルを決定する汚れ測定装置と、
を備える、汚れ測定システム。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (9件):
2G051AA90
, 2G051AB01
, 2G051AC15
, 2G051AC16
, 2G051CA04
, 2G051CD03
, 2G051EA16
, 2G051EB01
, 5F151JA15
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (11件)
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