特許

J-GLOBAL ID：202303004043034058

窒化アルミニウム単結晶の製造方法および窒化アルミニウム単結晶製造装置

発明者： 安達 正芳 ,  福山 博之 ,  大塚 誠 ,  得地 悠希 ,  飴井 千晃
出願人/特許権者： 国立大学法人東北大学
代理人 (1件)： 楠 修二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2022-028039
公開番号（公開出願番号）：特開2023-124333
出願日： 2022年02月25日
公開日（公表日）： 2023年09月06日
要約：

【課題】温度制御が容易であり、比較的大きい成長速度で窒化アルミニウムの単結晶を製造することができる窒化アルミニウム単結晶の製造方法および窒化アルミニウム単結晶製造装置を提供する。 【解決手段】窒素を含む雰囲気中に窒化アルミニウムを有する被析出体を配置し、その雰囲気中でAl蒸気を発生させることにより、被析出体の表面に窒化アルミニウム単結晶を析出させる。Alを含む合金の融液を、その融液中で窒化アルミニウム結晶が分解される温度範囲のうちの最低温度より高い温度に加熱して、Al蒸気を発生させることが好ましい。 【選択図】図5

請求項（抜粋）：

窒素を含む雰囲気中に窒化アルミニウムを有する被析出体を配置し、前記雰囲気中でAl蒸気を発生させることにより、前記被析出体の表面に窒化アルミニウム単結晶を析出させることを特徴とする窒化アルミニウム単結晶の製造方法。

IPC (2件)：

C30B 29/38 ,  C30B 23/02

FI (2件)：

C30B29/38 C ,  C30B23/02

Fターム (7件)：

4G077AA02 ,  4G077BE13 ,  4G077DA02 ,  4G077DA09 ,  4G077EA01 ,  4G077EA06 ,  4G077HA12

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 窒化アルミニウム結晶の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2018-087979   出願人：国立大学法人東北大学
• AlNウィスカー、樹脂組成物、油脂組成物及びAlNウィスカーの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-284934   出願人：株式会社デンソー, 国立大学法人名古屋大学