関口敦

セキグチアツシ | SEKUGUCHI Atsushi

所属機関・部署：
職名：教授

研究分野 (2件)：薄膜、表面界面物性 , 電子デバイス、電子機器

研究キーワード (6件)：プラズマ応用 , 微細加工 , 化学気相成長法 , 表面科学 , 薄膜技術 , 真空工学

論文 (53件)：

A. Taguchi, S. Takahashi, A. Sekiguchi, K. Kaneko, S. Fujita, T. Onuma, T. Honda, T. Yamaguchi. Mist Chemical Vapor Deposition Growth of alpha-In2O3 Films Using Indium Oxide Powder as Source Precursor. physica status solidi (b). 2021. 259. 2100414-1-2100414-4
Tomohiro Yamaguchi, Subaru Takahashi, Takanori Kiguchi, Atsushi Sekiguchi, Kentaro Kaneko, Shizuo Fujita, Hiroki Nagai, Mitsunobu Sato, Takeyoshi Onuma and Tohru Honda. Impact of hydrochloric acid on the epitaxial growth of In2O3 films on (0001)α-Al2O3 substrates by mist CVD. Applied Physics Express. 2020. 13. 075504-1-075504-4
高見知秀,関口敦. ガラスナノピペットのガスフローコンダクタンスの研究. 工学院大学総合研究所年報第26号 2018 年度. 2019. 26. 108-115
関口敦,佐々木美桜,佐藤杏佳,新谷駿,及川実那子,遠藤和佳奈,佐藤天大. 小学生および保護者のための真空体験教室開催報告-第26回工学院大学わくわくサイエンス祭科学教室-. 表面と真空. 2019. 61. 12. 736-739
関口敦,鈴木美由菜,関根智七海,川口功太郎,鈴木有里沙,土屋沙織. 小学生および保護者のための真空体験教室開催報告-第25回工学院大学わくわくサイエンス祭科学教室-. 表面と真空. 2018. 61. 12. 809-812

MISC (3件)：

特許 (42件)：

書籍 (3件)：

トコトンやさしい真空技術の本
日刊工業新聞社 2019 ISBN:9784526080074
ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の応用
コロナ社 2016 ISBN:9784339046502
Microchemistry Spectroscopy and Chemistry in Small Domains
North-Holland 1994 ISBN:0444815139

講演・口頭発表等 (25件)：

Impact of gas type on formation of twin structure in the growth of a-Ga2O3 by mist chemical vapor deposition
(The 10th Asia-Pacific Workshop on Widegap Semiconductors (APWS 2022) 2022)
Importance of dissolving source precursor of Ga(C5H7O2)3 with HCl in mist CVD for α-Ga2O3 growth
(2022 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM202) 2022)
ミスト化学気相成長法コランダム構造酸化ガリウム薄膜のガス種による双晶形成への影響
(第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022)
Carrier gas type dependence of Ga2O3 thin film grown by mist Chemical Vapor Deposition
(The 20th International Symposium on Advanced Technology (ISAT-20) 2021)
Impacts of hydrochloric acid concentration and ,growth temperature on mist chemical vapor deposition ,growth of Ga2O3
(6th International Conference on Advanced Electromaterials 2021)

学位 (1件)：

経歴 (7件)：

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委員歴 (12件)：

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受賞 (3件)：

所属学会 (4件)：

公益社団法人日本表面真空学会 , AVS , 公益社団法人応用物理学会 , 公益社団法人日本化学会

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関口 敦