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J-GLOBAL ID：200901013684209763   Update date: Sep. 14, 2022

Ogawa Masaki

オガワ マサキ | Ogawa Masaki
Research field  (4)： Electronic devices and equipment ,  Thin-film surfaces and interfaces ,  Crystal engineering ,  Applied materials
Research keywords  (5)： 固体の表面構造 ,  電気物性:電子伝導 ,  薄膜 ,  結晶成長 ,  固体デバイス
Research theme for competitive and other funds  (2)：
  • 2004 - 2007 ULSI材料・プロセス
  • 2004 - 2007 ULSI materials and processing
MISC (91)：
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Books (28)：
  • Pt-germanideゲート電極の結晶構造及び電気的特性の評価
    ゲートスタック研究会 -材料・プロセス・評価の物理- 2007
  • パルスレーザー蒸着法によるGe基板上へのPr酸化膜の作製とその構造及び電気的特性評価
    ゲートスタック研究会 -材料・プロセス・評価の物理- 2007
  • Ge(001)表面の酸素エッチングおよび初期酸化過程の原子スケール評価
    ゲートスタック研究会 -材料・プロセス・評価の物理- 2007
  • Conductive-AFMによるゲート絶縁膜劣化現象のナノスケール評価
    半導体・集積回路技術 第70回シンポジウム 講演論文集 2006
  • La2O3-Al2O3複合膜中の局所電流リークの起源と酸素熱処理の効果
    応用物理学会薄膜・表面物理分科会/シリコンテクノロジー分科会共催特別研究会研究報告 ゲートスタック研究会 -材料・プロセス・評価の物理-(第11回研究会) 2006
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Works (7)：
  • シリコンナノエレクトロニクスの新展開-ポストスケーリングテクノロジー-
    2006 - 2009
  • 3次元化学状態解析X線光電子分光装置
    2005 - 2009
  • ひずみSOI基盤の転位挙動緩和機構と解析
    2005 - 2006
  • ナノフォトダイオード用ゲルマニウム製薄膜技術の開発
    2005 - 2006
  • 超低消費電力CMOS用ゲルマニウム系薄膜形成技術の研究開発
    2005 - 2005
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Professional career (1)：
  • 博士(工学) (大阪大学)
Work history (1)：
  • Nagoya University Ecotopia Science Institute, EcoTopia Science Institute Professor
Committee career (2)：
  • 応用物理学会 応用物理学会薄膜表面分科会幹事
  • 応用物理学会 日本表面科学会評議委員
Awards (4)：
  • 2005 - MNC2004 Award for Outstanding Paper
  • 2005 - MNC2004 Award for Outstanding Paper
  • 1986 - 科学技術庁第45回注目発明受賞(昭和61年4月:超格子の構造)
  • 1979 - 渡辺記念研究奨励賞
Association Membership(s) (1)：
応用物理学会
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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