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J-GLOBAL ID：200901041160071920 Update date: Apr. 05, 2020

Ozaki Yoshiharu

オザキヨシハル | Ozaki Yoshiharu

Affiliation and department：

Research field (2)： Measurement engineering , Optical engineering and photonics

Research keywords (2)：光応用計測 , Optical Instrumentation

Research theme for competitive and other funds (6)：

1999 - 2002 位相物体の顕微観察
1999 - 2002 Microscopic Observation of Phase Objects
1999 - 2001 反応ガス流の可視化
1999 - 2001 Visualization of Reactive Gas Flow
1999 - 空間コヒーレンス度の測定

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MISC (12)：

Hecht OPTICS III. Maruzen. 2003
Hecht OPTICS II. Maruzen. 2003
Hecht OPTICS III. Maruzen. 2003
Hecht OPTICS II. Maruzen. 2003
Low-Pulse-Energy Excimer-Laser-Induced Damage in Thermally Oxidized Si(100) Substrates. Japanese Journal of Applied Physics. 1998. 37. 7. 3948-3950

Patents (8)：

ドライエッチング装置(日本国特許第1291580,共著)
パターン形成方法(日本国特許第1657100,共著)
半導体装置におけるスルーホール部の清浄化方法(日本国特許第1446518,共著)
Dry-etching System
Patterning Method

Books (6)：

ヘクト光学III
丸善出版事業部 2003
ヘクト光学II
丸善出版事業部 2003
ヘクト光学I
丸善出版事業部 2002
Hecht OPTICS I
Maruzen 2002
システム工学と線形システム理論
内田光鶴圃 1998

Professional career (2)：

Doctor of Engineering (Osaka Prefecture University)
Master of Engineering (Osaka Prefecture University)

Association Membership(s) (5)：

日本物理学会 , 日本機械学会 , 計測自動制御学会 , 日本光学会 , 応用物理学会

※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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