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J-GLOBAL ID：201901007438780947
Update date: Jan. 30, 2024
Sasago Masaru
ササゴ マサル | Sasago Masaru
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Research field (1)：
Electric/electronic material engineering
Research keywords (5)：
半導体集積化技術
, 三次元パッケージ技術
, メタマテリアル
, Micro Process
, Lithography
Research theme for competitive and other funds (1)：
2020 - 2023 三次元フォトリソグラフィ
Work history (3)：
2022/12 - 現在 Osaka Metropolitan University Graduate School of Engineering
2021/01 - 現在 Quantum Super Process Lab CEO
1978/12 - 2021/12 Panasonic Corporation
Committee career (2)：
2022/12 - 現在 3DHIコンソーシアム 事務局
2021/01 - 現在 半導体3Dプロセスインフォマティクス研究会 副会長
Awards (3)：
2013/05 - 応用物理学会 フェロー エキシマレーザーリソグラフィ技術の先駆的研究と工業化推進
2010/05 - 文部科学省 文部科学大臣科学技術賞 半導体超微細加工用エキシマレーザーリソグラフィ技術の開発
2008/11 - 材料科学技術振興財団 山崎貞一賞 エキシマレーザーリソグラフィ技術の先駆的研究と 工業化推進
Association Membership(s) (3)：
SPIE
, IEEE
, 応用物理学会
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