Rchr
J-GLOBAL ID：200901064052501500   Update date: Sep. 13, 2022

Kotera Masatoshi

コテラ マサトシ | Kotera Masatoshi
Affiliation and department：
Osaka Institute of Technology Faculty of Engineering Department of Electronics,Information and Communication Engineering

About Osaka Institute of Technology Faculty of Engineering Department of Electronics,Information and Communication Engineering


Job title： Professor
Homepage URL  (1)： http://www.oit.ac.jp/elc/~kotera/index.html
Research field  (3)： Electronic devices and equipment ,  Electric/electronic material engineering ,  Thin-film surfaces and interfaces
Research keywords  (12)： electron trajectory simulation in magnetic field ,  electron trajectory simulation in electric field ,  electron scattering simulation in solids ,  帯電分布計測 ,  二次電子放出 ,  エネルギー蓄積分布 ,  空間分解能 ,  電子ビーム応用技術 ,  表面界面物性 ,  電子デバイス・機器工学 ,  Surface Physics ,  Electronic Devives and Apparatias Engineering
Research theme for competitive and other funds  (10)：
  • 2016 - 2019 電子ビームリソグラフィにおける帯電の影響低減のための帯電現象のマルチスケール解析
  • 2010 - 2013 電子ビーム照射による試料帯電の広範囲ナノメートル分解能・リアルタイム計測技術開発
  • 2000 - Electrical charging of materials during electron beam irradiation
  • 1998 - 電子ビームリソグラフィシステムの解析
  • 1991 - 1994 静電型走査電子顕微鏡の製作
Show all
MISC (76)：
ｍore...
Books (1)：
  • 各種分析法におけるサンプリング・試料調製法と前処理技術
    技術情報協会 1993
Works (8)：
  • 低加速電子ビーム露光の大電流化技術
    2003 - 2004
  • 電子ビームリソグラフィシミュレーションの開発
    2003 - 2004
  • EB投影露光シミュレーション技術
    2000 - 2003
  • 電子ビーム照射による帯電現象のシミュレーション
    2002 -
  • 等倍EB近接露光シミュレーション技術
    2002 -
ｍore...
Education (4)：
  • - 1982 Osaka Prefecture University
  • - 1982 Osaka Prefecture University Graduate School, Division of Engineering
  • - 1977 Osaka Prefecture University School of Engineering
  • - 1977 Osaka Prefecture University Faculty of Engineering
Professional career (2)：
  • Doctor of Engineering (Osaka Prefecture University)
  • 工学修士
Committee career (4)：
  • 2011/09 - 現在 荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会 幹事
  • 2008/02 - 現在 荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会 学界委員
  • 1998 - 2002 応用物理学会 関西支部評議員
  • International Microprocesses and Nanotechnology Conference 論文委員
Association Membership(s) (3)：
THE JAPANESE SOCIETY OF MICROSCOPY ,  電子情報通信学会 ,  応用物理学会
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM