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J-GLOBAL ID：200902036071419947   Reference number：88A0595404

Reactive synthesis of well-oriented zinc-oxide films by means of the facing targets sputtering method.

対面ターゲットスパッタ法による良好な配向性を持った酸化亜鉛膜の反応合成

Author (3)： MATSUOKA M (NTT Electrical Communications Lab., Ibaraki, JPN) ,  HOSHI Y (Tokyo Inst. Polytechnics, Atsugi-shi, JPN) ,  NAOE M (Tokyo Inst. Technology, Tokyo, JPN)
Material： Journal of Applied Physics  (Journal of General Physics and its Application to Other Sciences and to Industry)
Volume： 63  Issue： 6  Page： 2098-2103  Publication year： Mar. 15, 1988 
JST Material Number： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： zinc oxide ,...

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JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (5)： 対面 ,  ターゲット ,  スパッタ法 ,  配向性 ,  酸化亜鉛