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J-GLOBAL ID：200902052047427888   Reference number：89A0121297

Designing a new apparatus for measuring particle sizes of the order of nanometer by light-scattering.

光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法の開発

Author (7)： MORI YUZO (大阪大 工) ,  AN HIROSHI (大阪電通大) ,  ENDO KATSUYOSHI (大阪大 工) ,  YAMAUCHI KAZUTO (大阪大 工) ,  SUGIYAMA KAZUHISA (大阪大 教養) ,  TSUCHIYA HACHIRO (京都工繊大 工芸) ,  IDE TAKASHI (愛媛大 工)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 54  Issue： 11  Page： 2132-2137  Publication year： Nov. 1988 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： precision measurement ,...
Semi thesaurus term： thermal radiation ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (9)：

• 1) M. Born and E. Wolf : Principle of Optics, Pergamon Press, Inc., New York, N. Y., (1980) 611-656.
• 2) K. Suda : Instrumentation for the Size Determination of Submicron Particulates Systems by Side Way Light Scattering Method, Rev. Sci. Instrum., 51, (1980) 1049.
• 3) Y. Mori et al. : Designing a New Apparatus for Measuring Particle Sizes of the Order of Nanometer by Light-Scattering, Tech. Reports Osaka University, 38, 1924 (1988) 135.
• 4) 八掛保夫ほか : 表面検査装置による微粒子検出, 日立評論, 62, 7 (1983) 39.
• 5) 秋山伸幸ほか : 偏光レーザによるパターン付試料上の異物検査の自動化, 計測自動制御学会論文集, 17, 2 (1981) 237.

Terms in the title (5)： 光散乱法 ,  ナノメータ ,  オーダ ,  粒径測定 ,  開発