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J-GLOBAL ID：200902105462933426   Reference number：97A0632261

ArF Single Layer Resist Composed of Alicyclic Main Chain Containing Maleic Anhydride.

マレイン酸無水物を含む脂環式主鎖から成るArF単層レジスト

Author (3)： JUNG J-C (Hyundai Electronics Ind., Co., Ltd., Kyoungki-do, KOR) ,  BOK C-K (Hyundai Electronics Ind., Co., Ltd., Kyoungki-do, KOR) ,  BAIK K-H (Hyundai Electronics Ind., Co., Ltd., Kyoungki-do, KOR)
Material： Journal of Photopolymer Science and Technology  (フォトポリマー懇話会誌)
Volume： 10  Issue： 4  Page： 529-533  Publication year： 1997 
JST Material Number： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： monolayer ,...
Semi thesaurus term： bridged compound ,...

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JST classification (2)： Other reactions of polymer  (CG03040H) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Substance index (5)： Maleic acid anhydride ,  Norborn-5-ene-2-carboxylic acid 2-hydroxyethyl ester ,  Norborn-5-ene-2-carboxylic acid tert-butyl ester ,  Norborn-5-ene-2-carboxylic acid ,  Norborn-5-ene-2-methanol

Reference (9)：

• 1). Y. Kaimoto, K. Nozaki, S. Takechi and N. Abe, Proc. SPIE, 1672, 66 (1992)
• 2). Katsumi Maeda, Kaichiro Nakano, Takeshi Ohfuji and Etsuo Hasegawa, Proc. SPIE, 2724, 337 (1996)
• 3). Thomas I. Wallow, Francis M. Houlihan, Omkaram Nalamasu, Edwin A. Chandross, Thomax X. Neenan and Elsa Reichmanis, Proc. SPIE, 2724, 355 (1996)
• 4). Satoshi Takechi, Makoto Takahashi, Akiko Kojinozaki, Ei Yano and Isamu Hanyn, J. Photopolymer Sci. Tech., 9, 3475 (1996)
• 5). S. Takeshi, Y. Kaimoto, K. Nozaki and N. Abe, J. Photopolymer Sci. Tech., 5, 439 (1992)

Terms in the title (6)： マレイン酸無水物 ,  脂環 ,  主鎖 ,  ARF ,  単層 ,  レジスト