Art

J-GLOBAL ID：200902105624321381   Reference number：01A0264704

Ion-assisted deposition of copper using an inverter plasma.

インバータプラズマを用いた銅のイオン支援蒸着

Author (6)： KIUCHI M (Osaka National Res. Inst., Osaka, JPN) ,  MURAI K (Osaka National Res. Inst., Osaka, JPN) ,  TANAKA K (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  TAKECHI S (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  SUGIMOTO S (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  GOTO S (Osaka Univ., Osaka, JPN)
Material： Surface & Coatings Technology  (Surf Coat Technol)
Volume： 136  Issue： 1/3  Page： 273-275  Publication year： Feb. 02, 2001 
JST Material Number： D0205C  ISSN： 0257-8972  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *Copper ,...
Semi thesaurus term： インバータプラズマ

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=01A0264704&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=D0205C") }}

JST classification (1)： Metallic thin films  (BK14030T)

Terms in the title (6)： インバータ ,  プラズマ ,  銅 ,  イオン ,  支援 ,  蒸着