Art

J-GLOBAL ID：200902109389805320   Reference number：03A0050093

Effect of Zr/Ti Ratio in Targets on Electrical Properties of Lead Zirconate Titanate Thin Films Derived by Pulsed Laser Deposition on Template Layer.

テンプレート層上にパルスレーザ蒸着で誘導したジルコニウム酸チタン酸鉛薄膜の電気特性に及ぼすターゲット内Zr/Ti比の効果

Author (5)： WANG Z-J (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  KARIBE I (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  YAN L J (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  KOKAWA H (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  MAEDA R (National Inst. Advanced Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 41  Issue： 11B  Page： 6658-6663  Publication year： Nov. 30, 2002 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： ferroelectrics ,...
Semi thesaurus term： *PZT ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=03A0050093&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0520B") }}

JST classification (2)： Ferroelectrics,antiferroelectrics and ferroelasticity  (BM05030B) ,  Oxide thin films  (BK14050P)

Reference (20)：

• 1) J. Chu, Z. J. Wang and R. Maeda: Jpn. J. Appl. Phys. 38 (1999) L1482.
• 2) J. Chu, Z. J. Wang, R. Maeda, K. Kataoka, T. Itoh and T. Suga: J. Vac. Sci. & Technol. <B>B18</B> (2000) 3604.
• 3) A. Schroth, R. Maeda, J. Akedo and M. Ichiki: Jpn. J. Appl. Phys. 37 (1998) 5342.
• 4) A. Schroth, C. Lee, S. Matsumoto and R. Maeda: Sens. & Actuat. <B>73</B> (1999) 144.
• 5) R. Maeda, Z. J. Wang, J. Chu, J. Akedo, M. Ichiki and S. Yonekubo: Jpn. J. Appl. Phys. 37 (1998) 7116.

Terms in the title (9)： テンプレート ,  パルスレーザ蒸着 ,  誘導 ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  薄膜 ,  電気特性 ,  ターゲット ,  Zr ,  Ti