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J-GLOBAL ID：200902110716984232   Reference number：97A0747998

Improvement of Detecting Sensitivity of Light Scattered by Small Particles on Transparent Conductive Film.

透明導電膜上の微粒子からの散乱光検出感度の向上法

Author (3)： ITO TAKUMI (長岡技科大 大学院) ,  MASUYA KAZUHIRO (長岡技科大 大学院) ,  AKIYAMA NOBUYUKI (長岡技科大)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 63  Issue： 8  Page： 1112-1116  Publication year： Aug. 1997 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： transparent material ,...

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JST classification (2)： Display equipment  (NC06030Q) ,  Printed circuits  (NA05040O)

Reference (4)：

• 中村篤史. センサ走査方向比較検査によるTFT-LCD上微粒子検出. 精密工学会誌. 1995, 61, 6, 864
• LILIENFELD, P. Optical Detection of Particle Contamination on Surfaces : A Review. Aerosol Sci. and Technol. 1986, 5, 145
• WOJCIK, G. L. Calculation of Light Scatter from Structure on Silicon Surfaces. SPIE. 1987, 774, 21
• KERKER, M. The Scattering of Light. 1969, 27

Terms in the title (4)： 透明導電膜 ,  微粒子 ,  散乱光 ,  検出感度