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J-GLOBAL ID：200902194509823996   Reference number：95A0567199

Detection of Small Particles on TFT-LCD Using Comparison Method along Scanning Direction of Image Sensor.

センサ走査方向比較検査によるTFT-LCD上微粒子検出

Author (4)： NAKAMURA ATSUSHI (長岡技科大 大学院) ,  AKIYAMA NOBUYUKI (長岡技科大) ,  YACHI TOSHIAKI (日立電子エンジニアリング) ,  CHIKAMATSU SHUICHI (日立電子エンジニアリング)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 61  Issue： 6  Page： 864-868  Publication year： Jun. 1995 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： image processing system ,...

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JST classification (1)： Display equipment  (NC06030Q)

Reference (5)：

• 秋山伸幸. 半導体用異物検査技術. 精密工学会誌. 1989, 55,2, 294
• 秋山伸幸. 差画像検出方式異物検査装置の開発. 精密工学会誌. 1991, 57,11, 1955
• 秋山伸幸. 空間フィルタを用いたウエハ異物検出技術. 精密工学会誌. 1992, 58,11, 1909
• 小泉光義. LSIパタ-ンからの反射光の偏光特性を利用した異物検出法の開発. 計測自動制御学会論文集. 1989, 25,9, 954
• KNOLLENBERG, R. G. A Polarization Diversity Surface Analysis System. SPIE Lasers in Microlithography. 1987, 774, 32

Terms in the title (4)： 走査方向 ,  検査 ,  TFT-LCD ,  微粒子