Art

J-GLOBAL ID：200902113907754988   Reference number：03A0122269

Contrast-to-gradient method for the evaluation of image resolution in scanning electron microscopy.

走査電子顕微鏡観察における像の分解能を評価するためのコントラスト-勾配法

Author (2)： ISHITANI T (Hitachi High-Technol. Corp., Ibaraki-ken, JPN) ,  SATO M (Hitachi High-Technol. Corp., Ibaraki-ken, JPN)
Material： Journal of Electron Microscopy  (電子顕微鏡学会誌)
Volume： 51  Issue： 6  Page： 369-382  Publication year： 2002 
JST Material Number： G0104A  ISSN： 0022-0744  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *scanning electron microscope ,...
Semi thesaurus term： harmonic mean

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=03A0122269&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0104A") }}

JST classification (1)： Electron and ion microscopes  (BD02050B)

Reference (20)：

• SATO, M. Resolution. Handbook of Charged Particle Optics. 1997, 319-361
• JOY, D C. Metrics of resolution and performance for CD-SEMs. Proc SPIE. 2000, 3998, 108-114
• UNITT, B M. A digital computer method for revealing directional information in images. J. Phys. E. 1975, 8, 423-425
• TEE, W J. An automatic focusing and stigmating system for the SEM. J. Phys. E. 1979, 12, 35-38
• ARCHIE, C. Modeling and experimental aspects of apparent beam width as an edge resolution measure. Proc of SPIE. 1999, 3677, 669-685

Terms in the title (6)： 走査電子顕微鏡観察 ,  像 ,  分解能 ,  評価 ,  コントラスト ,  勾配法