Art

J-GLOBAL ID：200902116670010988   Reference number：01A0496914

21世紀を支える表面技術 プラズマソースイオン注入法によるダイヤモンド状炭素膜の作製

Author (2)： BABA KOMEI (長崎県工技セ) ,  HATADA RURIKO (長崎県工技セ)
Material： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
Volume： 52  Issue： 1  Page： 74-75  Publication year： Jan. 01, 2001 
JST Material Number： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *DLC film ,...
Semi thesaurus term： PSII法

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=01A0496914&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0441B") }}

JST classification (2)： Carbon and its compounds  (YB02060D) ,  Irradiational changes of other materials  (BK16124V)

Substance index (2)： Acetylene ,  Methane

Reference (10)：

• 1) J. R. Conrad, J. R. Radtke, R. A. Dodd, F. J. Worzala and N. C. Tran; J. Appl. Phys., 62, 4591 (1987)
• 2) 馬場恒明, 畑田留理子; 表面技術, 49, 176 (1998)
• 3) K. Baba and R. Hatada; Mater. Chem. Phys., 54, 135 (1998)
• 4) K. Baba and R. Hatada; Nucl. Instr. Meth. Phys. Rev., B 148, 69 (1999)
• 5) K. Baba and R. Hatada; Surf. Coat. Technol., 128, 112 (2000)

Terms in the title (5)： 21世紀 ,  プラズマソース ,  イオン注入法 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  作製