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J-GLOBAL ID：200902121462845050   Reference number：93A0299293

An Active Lead Screw Mechanism. 1st Report, Principle and Basic Characteristics.

機能化送りねじ機構 第1報,原理と試作機構の諸特性

Author (4)： SATO KAIJI (東京工大 精密工研) ,  SHIMOKOBE AKIRA (東京工大 精密工研) ,  IMADA SHIGEHIKO (東京工大 大学院) ,  MURAYAMA YOSHIHISA (東京工大 大学院)
Material： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
Volume： 59  Issue： 558  Page： 392-399  Publication year： Feb. 1993 
JST Material Number： F0045B  ISSN： 0387-5024  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： feed equipment ,...

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JST classification (1)： Cutting in general  (QC02010V)

Reference (6)：

• (1) 渋川哲郎•杉田和彦,工作機械における超精密位置決め技術の現状,精密工学会誌,57-10,(1991)1717.
• (2) 鳥海正樹,半導体製造装置における位置決め技術,精密工学会誌,57-10,(1991)1726.
• (3) 内田憲男•高橋良彦•山田昇•広川利夫,自重補償機構を傭えた縦形の超精密XYステージ-摩擦の影響を考慮した位置決め-,精密工学会誌,54-5,(1988)884.
• (4) 青木芳人•川瀬佳洋•深田茂生•大塚二郎,ねじ駆動による超精密位置決め(第1報)-すべりねじとボールねじによる基礎的研究-,精密工学会誌, 56-11,(1990)2033.
• (5) D. E. Luttrell and T. A. Dow, Development of a high speed system to control dynamic behaviour of mechanical structure, Precision Engineerinp, 9-4, (1987)191.

Terms in the title (3)： 送りねじ機構 ,  原理 ,  試作