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J-GLOBAL ID：200902122505316460   Reference number：01A0270742

Grinding Characteristics of Multi-axis Ultraprecision Mirror Surface Machining System.

超精密多軸鏡面加工システムによる超精密鏡面加工特性

Author (7)： OMORI HITOSHI (理研) ,  KATAHIRA KAZUTOSHI (理研) ,  ANZAI MASAHIRO (理研) ,  MAKINOUCHI AKITAKE (理研) ,  YAMAGATA YUTAKA (理研) ,  MORIYASU SEI (理研) ,  LIN W (理研)
Material： 砥粒加工学会誌  (Abrasive Technology)
Volume： 45  Issue： 2  Page： 85-90  Publication year： Feb. 01, 2001 
JST Material Number： L0473A  ISSN： 0914-2703  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *ultraprecision machining ,...

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JST classification (1)： Grinding  (QC03000R)

Reference (5)：

• OHMORI, H. Mirror Surface Grinding of Silicon Wafers with Electrolytic In-Process Dressing. Annals of the CIRP. 1990, 39/1, 320
• OHMORI, H. Electrolytic In-Process Dressing(ELID) Grinding Technique for Ultra-Precision Mirror Surface Machining. Int. Journal of JSPE. 1992, 26/4, 273
• 大森整. 超精密加工に対応した電解インプロセスドレッシング(ELID)研削法. 精密工学会誌. 1993, 59,3, 43
• 大森整. ELID研削加工技術. 2000
• 守安精. 機上計測用縦型超精密触針式形状測定プローブの開発. 2000年度精密工学会春季大会学術講演会講演講論集. 2000, 578

Terms in the title (5)： 超精密 ,  多軸 ,  鏡面 ,  加工システム ,  加工特性