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J-GLOBAL ID：200902125514587158   Reference number：01A0993179

金属膜中間層を用いた異種材料のウェハ常温接合

Author (3)： TAKAGI HIDEKI (産業技術総合研) ,  MAEDA RYUTARO (産業技術総合研) ,  SUGA TADATOMO (東大 先端科学技研セ)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 2001  Issue： 秋季  Page： 607  Publication year： Sep. 10, 2001 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *wafer ,...
Semi thesaurus term： 表面活性化

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (3)：

• TAKAGI, H. Jpn. J. Appl. Phys. 1998, 37, 4197
• 高木. 2001年精密工学会春季大会講演会講演論文集. 345
• TAKAGI, H. J. Micromech. Microeng. 2001, 11, 348

Terms in the title (5)： 金属膜 ,  中間層 ,  異種材料 ,  ウェハ ,  常温接合