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J-GLOBAL ID：200902125714088920   Reference number：02A0375078

光逆散乱位相法による三次元微細加工形状計測に関する研究 (第6報) 高精度位相回復計測装置の設計

Author (4)： TAGUCHI ATSUKIYO (大阪大) ,  MIYOSHI TAKASHI (大阪大) ,  TAKAYA YASUHIRO (大阪大) ,  TAKAHASHI SATOSHI (大阪大)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 2002  Issue： 春季  Page： 755  Publication year： Mar. 05, 2002 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *fine patterning ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (1)：

• TAGUCHI, A. 3D Micro-Profile Measurement using Optical Inverse Scattering Phase Method. Annals of the CIRP. 2000, 49/1/2000, 423-437

Terms in the title (7)： 散乱 ,  微細加工 ,  形状計測 ,  研究 ,  位相回復 ,  計測装置 ,  設計