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J-GLOBAL ID：200902127669947404   Reference number：98A0950513

Growth of ZnO Thin Films on LiNbO₃ Substrates by Electron Cyclotron Resonance-Assisted Molecular Beam Epitaxy.

電子サイクロトロン共鳴支援分子ビームエピタクシーによるLiNbO₃基板上へのZnO薄膜の成長

Author (3)： KANG H-B (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  YOSHIDA K (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  NAKAMURA K (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 37  Issue： 9B  Page： 5220-5223  Publication year： Sep. 1998 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： piezoelectrics ,...
Semi thesaurus term： IDT【変換器】

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JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Reference (16)：

• 1) G. Galli and J.E. Coker: Appl. Phys. Lett. 16 (1970) 439.
• 2) S. Onishi, Y. Hirokawa, T. Shiosaki and A. Kawabata: Jpn. J. Appl. Phys. 17 (1978) 773.
• 3) B.T. Khuri-Yakub, G.S. Kino and P. Galle: J. Appl. Phys. 46 (1975) 3266
• 4) T. Yamamoto, T. Shiosaki and A. Kawabata: J. Appl. Phys. 51 (1980) 3113
• 5) T. Mitsuyu, S. Ono and K. Wasa: J. Appl. Phys. 51 (1980) 2464

Terms in the title (5)： 電子サイクロトロン共鳴 ,  支援 ,  分子ビームエピタクシー ,  ZnO薄膜 ,  成長