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J-GLOBAL ID：200902138845102531   Reference number：02A0809569

Properties of Diamond-Like Carbon Films Fabricated by the Filtered Cathodic Vacuum Arc Method.

フィルタ陰極真空アーク法によって作製したダイヤモンド状炭素膜の特性

Author (8)： INABA H (Hitachi Ltd., Yokohama, JPN) ,  FUJIMAKI S (Hitachi Ltd., Kanagawa, JPN) ,  SASAKI S (Hitachi Ltd., Yokohama, JPN) ,  HIRANO S (Hitachi Ltd., Yokohama, JPN) ,  TODOROKI S (Hitachi Ltd., Yokohama, JPN) ,  FURUSAWA K (Hitachi Ltd., Yokohama, JPN) ,  YAMASAKA M (Hitachi Ltd., Kanagawa, JPN) ,  SHI X (Nanofilm Technol. International Pte., Ltd., Singapore)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 41  Issue： 9  Page： 5730-5733  Publication year： Sep. 15, 2002 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *DLC film ,...
Semi thesaurus term： フィルタ陰極真空アーク法

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JST classification (3)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Carbon and its compounds  (YB02060D) ,  Structure of other amorphous materials  (BK04040Z)

Reference (10)：

• 1) M. Weiler, S. Sattel, K. Jung, H. Ehrhardt, V. S. Veerasamy and J. Robertson: Appl. Phys. Lett. 64 (1994) 2797.
• 2) M. Weiler, S. Sattel, T. Giessen, K. Jung, H. Ehrhardt, V. S. Veerasamy and J. Robertson: Phys. Rev. B 53 (1996) 1594.
• 3) J. Robertson: J. Non-Cryst. Solids 164/165 (1993) 1115.
• 4) J. Robertson: Diamond Relat. Mater. 2 (1993) 984.
• 5) K. Azuma, H. Inaba, K. Tasaka, S. Fujimaki and H. Shirai: Jpn. J. Appl. Phys. 39 (2000) 6427.

Terms in the title (4)： 陰極 ,  真空アーク ,  作製 ,  ダイヤモンド状炭素