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J-GLOBAL ID：200902148292753240   Reference number：95A0819003

Microfabrication and Plating. Photo Lithography. Photoresist.

微細加工技術と表面処理 フォトリソグラフィ(1) レジスト材料

Author (1)： KOMANO HIROSHI (東京応化工業)
Material： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
Volume： 46  Issue： 9  Page： 778-783  Publication year： Sep. 1995 
JST Material Number： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： fine patterning ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (19)：

• 橋本貴夫. 図解・フォトファブリケーション. 1986, 15
• 橋本貴夫. 日本印刷学会誌. 1988, 25,, 3, 133
• 山岡亜夫. 日本写真学会誌. 1988, 51,, 6, 475
• 花畑誠. 高分子論文集. 1990, 45,, 10, 803
• 野々垣三郎. 電子材料. 1990, 29,, 1, 47

Terms in the title (4)： 微細加工技術 ,  表面処理 ,  フォトリソグラフィ ,  レジスト材料