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J-GLOBAL ID：200902149320168282   Reference number：98A0780407

Computer numerically controlled plasma chemical vaporization machining with a pipe electrode for optical fabrication.

光学部品製造のためのパイプ電極による計算機数値制御プラズマ化学蒸着加工

Author (9)： TAKINO H (Nikon Corp., Kanagawa, JPN) ,  SHIBATA N (Nikon Corp., Kanagawa, JPN) ,  ITOH H (Nikon Corp., Kanagawa, JPN) ,  KOBAYASHI T (Nikon Corp., Kanagawa, JPN) ,  TANAKA H (Nikon Corp., Kanagawa, JPN) ,  EBI M (Nikon Corp., Kanagawa, JPN) ,  YAMAMURA K (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  SANO Y (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  MORI Y (Osaka Univ., Osaka, JPN)
Material： Applied Optics  (Lasers, Photonics, and Environmental Optics)
Volume： 37  Issue： 22  Page： 5198-5210  Publication year： Aug. 01, 1998 
JST Material Number： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *optical system ,...

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JST classification (1)： Optical instrument elements and their materials  (QF05020K)

Terms in the title (4)： 光学部品 ,  パイプ ,  計算機数値制御 ,  プラズマ化学蒸着