Art

J-GLOBAL ID：200902160579676328   Reference number：95A0672909

Development of Simple Automatic Focusing Optics.

簡易型自動焦点検出光学系の開発

Author (4)： NAKAMURA ATSUSHI (長岡技科大 大学院) ,  AKIYAMA NOBUYUKI (長岡技科大) ,  YACHI TOSHIAKI (日立電子エンジニアリング) ,  CHIKAMATSU SHUICHI (日立電子エンジニアリング)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 61  Issue： 7  Page： 974-975  Publication year： Jul. 1995 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： simplification ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=95A0672909&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0268A") }}

JST classification (2)： Optical instrument elements and their materials  (QF05020K) ,  Semiconductor lasers  (BD04070L)

Reference (5)：

• 須田匡. 面板欠陥検出装置. 第15回SICE学術講演会講演論文集. 1976, No. 1806, 197
• 真田恭. 0.15μm世代のマスク欠陥検査装置MC-100の開発. 1994年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 1994, 479
• 秋山伸幸. しまパタ-ン投影式自動焦点合わせ法(第1報). 精密工学会誌. 1990, 56,7, 1304
• 秋山伸幸. しまパタ-ン投影式自動焦点合わせ法(第2報). 精密工学会誌. 1990, 56,12, 2273
• 吉原邦夫. 物理工学. 1979, 177

Terms in the title (4)： 簡易 ,  自動焦点 ,  光学系 ,  開発