Art
J-GLOBAL ID：200902161260455619   Reference number：99A0343555

Etching Fabrication of Nanostructures Using Metal Clusters as Formation Nuclei.

金属クラスターを形成核とするナノ構造のエッチング加工
Author (3)：
KANAYAMA TOSHIHIKO

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TADA TETSUYA

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KOGA KENJI

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(産業技術融合領域研)

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Material：
真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)

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Volume： 42  Issue： 2  Page： 91-96  Publication year： Feb. 20, 1999 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)
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*nanostructure

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Manufacturing technology of solid-state devices 
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