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J-GLOBAL ID：200902162047766704   Reference number：01A1032431

Layout Design for LSI Circuit Modification.

LSIの回路修正容易化設計

Author (3)： KUJI NORIO (NTTエレクトロニクス SAセ) ,  TAKEDA TADAO (NTTコミュニケーションズ) ,  KOMINE YUKIO (NTT 通信エネルギー研)
Material： 電子情報通信学会論文誌 C  (IEICE Transactions on Electronics (Japanese Edition))
Volume： J84-C  Issue： 11  Page： 1106-1112  Publication year： Nov. 01, 2001 
JST Material Number： S0623C  ISSN： 1345-2827  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： LSI ,...

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JST classification (1)： General  (NC03161C)

Reference (9)：

• 石井達也. 集束イオンビームを用いた電子ビームテスティング技術. 日本学術振興会第132委員会101回研究会資料. 1987, 46-51
• 真田克. EBテスターによる大規模,高速LSIの故障解析. 日本学術振興会第132委員会105回研究会資料. 1988, 7-12
• INO, M. LSI applications of 0.25-μm CMOS/SIMOX technology. Proc. ISDM'96. 1996, 482-484
• LEE, R. A. Low resistivity FIB depositions within high aspect ratio holes. 22nd ISTFA'96 Conference Proceedings. 1996, 85-88
• 久慈憲夫. クォータミクロン時代のEBテスティング. 1996信学ソ大(エレクトロニクス). 1996

Terms in the title (3)： LSI ,  容易 ,  設計