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J-GLOBAL ID：200902168357479100   Reference number：00A0300154

Direct Measurement of Sheath Electric Field Distribution in Front of Substrate in Electron Cyclotron Resonance Plasma by Laser-Induced Fluorescence Technique.

電子サイクロトロン共鳴プラズマにおける基板の前のシース電場分布のレーザ誘起蛍光法による直接測定

Author (3)： WATANABE M (Hiroshima Univ., Higashi-Hiroshima, JPN) ,  TAKIYAMA K (Hiroshima Univ., Higashi-Hiroshima, JPN) ,  ODA T (Hiroshima Kokusai Gakuin Univ., Hiroshima, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters & Express Letters)
Volume： 39  Issue： 2A  Page： L116-L118  Publication year： Feb. 01, 2000 
JST Material Number： F0599B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： electron cyclotron resonance plasma ,...

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JST classification (2)： Solid-plasma interactions  (BJ02033W) ,  Plasma diagnostics  (BJ02090L)

Reference (7)：

• 1) T. Oda and K. Takiyama: Proc. 7th Int. Symp. Laser-Aided Plasma Diagnostics, Fukuoka, Japan, 1995, p. 227.
• 2) H. Sakai, K. Takiyama, M. Kimura, M. Yamasaki, T. Oda and K. Kawasaki: J. Nucl. Mater. 196–198 (1992) 1135.
• 3) M. D. Bowden, Y. W. Choi and K. Muraoka: Appl. Phys. Lett. 66 (1995) 1059.
• 4) M. Watanabe, K. Takiyama and T. Oda: Rev. Sci. Instrum. 70 (1999) 903.
• 5) H. Tae, S. Hwang, S. Park, E. Yoon and K. Whang: J. Appl. Phys. 78 (1995) 4112.

Terms in the title (5)： 電子サイクロトロン共鳴プラズマ ,  シース ,  電場分布 ,  レーザ誘起蛍光法 ,  直接測定