Art

J-GLOBAL ID：200902186060518163   Reference number：01A0667819

Large-area uniform dust-free plasma CVD.

大面積で均一の塵あいフリープラズマCVD

Author (3)： FUJIYAMA H (Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN) ,  MAEMURA Y (Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN) ,  YAMAGUCHI T (Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN)
Material： Thin Solid Films
Volume： 390  Issue： 1/2  Page： 76-82  Publication year： Jun. 30, 2001 
JST Material Number： B0899A  ISSN： 0040-6090  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *fine particle ,...
Semi thesaurus term： ダストプラズマ

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JST classification (1)： Semiconductor thin films  (BK14040E)

Terms in the title (3)： 大面積 ,  塵あい ,  プラズマCVD