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J-GLOBAL ID：200902190866570081   Reference number：00A0437403

Characterization of SOI wafers by X-ray CTR scattering.

Author (3)： SHIMURA T (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  HOSOI T (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  UMENO M (Osaka Univ., Osaka, JPN)
Material： Journal of Crystal Growth  (J Cryst Growth)
Volume： 210  Issue： 1/3  Page： 98-101  Publication year： Mar. 2000 
JST Material Number： B0942A  ISSN： 0022-0248  Document type： Article
Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (2)： SOI ,  CTR