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J-GLOBAL ID：200902201342095060   Reference number：08A0900239

Development of a Three Axis Controlled Fast Tool Servo for Ultra Precision Machining (3rd Report)-High-speed Machining of Dies for Micro-Optical Devises Using High-Speed Tool Motion Control-

超精密加工用3軸制御ファストツールサーボの開発(第3報)-工具の高速制御によるマイクロ光学デバイス金型の高速加工-

Author (5)： WADA TOSHIHIKO (松下電器産業) ,  TAKAHASHI MASAYUKI (松下電器産業) ,  TASHIRO ISAO (松下電器産業) ,  MORIWAKI TOSHIMICHI (摂南大 工) ,  NAKAMOTO KEIICHI (大阪大 大学院)
Material： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
Volume： 74  Issue： 9  Page： 971-975  Publication year： Sep. 05, 2008 
JST Material Number： F0268B  ISSN： 1348-8716  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *ultraprecision machining ,  *servomechanism ,  control ,  machining speed ,  *optical element ,  *metal mold ,  positioning ,  microlens ,  compensation ,  vibratory cutting ,  grooving (machining) ,  *multi-spindle machine tool ,  multiaxial control ,  microlens array
Semi thesaurus term： *high speed machining ,  error compensation

JST classification (1)： Cutting in general  (QC02010V)

Reference (4)：

• 和田紀彦. 超精密加工用3軸制御ファストツールサーボの開発 (第1報) -ファストツールサーボユニットの試作と基本性能の評価-. 精密工学会誌. 2007, 73, 12, 1345
• 和田紀彦. 超精密加工用3軸制御ファストツールサーボの開発 (第2報) -工具振動による微細溝加工の検討-. 精密工学会誌. 2008, 74, 5, 486
• 石井正人. 超精密加工機の工具-工作物間運動誤差補償法 (第7報) -制御特性と加工精度-. 精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 1997. 1997, 14
• 高木潤一. 液晶パネル用バックライト-ベクター放射結合方式による携帯情報端末用高効率・高輝度バックライト. O plus E. 2002, 24, 11, 1226

Terms in the title (8)： 精密加工 ,  3軸 ,  開発 ,  工具 ,  高速制御 ,  マイクロ光学デバイス ,  金型 ,  高速加工