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J-GLOBAL ID：200902208292036274   Reference number：09A0916464

微小角入射X線散乱法を利用した薄膜表面層構造評価

Author (1)： FUJII YOSHIKAZU (神戸大 研究基盤セ)
Material： まてりあ  (Materia Japan)
Volume： 48  Issue： 9  Page： 445-451  Publication year： Sep. 01, 2009 
JST Material Number： F0163A  ISSN： 1340-2625  CODEN： MTERE2  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *small angle X-ray scattering ,  X-ray reflection ,  *thin film ,  surface structure ,  resolving power ,  space ,  depth analysis ,  structure analysis ,  reflectivity ,  *surface layer structure ,  grazing incidence ,  pure iron ,  multistory structure
Semi thesaurus term： magnetite ,  reciprocal space ,  grazing incident ,  *surface layer structure ,  hematite

JST classification (3)： X-ray diffraction methods  (BK01020I) ,  Thin films in general  (BK14010X) ,  Surface structure of solids in general  (BK15010E)

Reference (17)：

• (1) W. C. Marra, P. Eisenberger and A. Y. Cho: J. Appl. Phys., 50(1979), 6927.
• (2) I. K. Robinson: Phys. Rev., B33(1986), 3830.
• (3) P. H. Fuoss, D. W. Kisker, F. J. Lamelas, G. B. Stephenson, P. Imperatori and S. Brennan: Phys. Rev. Lett., 69(1992), 2791.
• (4) Y. Fujii, K. Yoshida, T. Nakamura and K. Yoshida: Rev. Sci., Instrum., 68(1997), 1975.
• (5) Y. Fujii, T. Komai and K. Ikeda: Surf. Interface Anal., 37(2005), 190-193.

Terms in the title (5)： 微小角入射 ,  X線散乱 ,  薄膜 ,  表面層構造 ,  評価