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J-GLOBAL ID：200902212634927122   Reference number：05A1019009

Thick Resist Pattern Replication Using Low Numerical-Aperture Projection Lithography and It’s Application to Fabrication of Micro Components

低開口数投影露光リソグラフィを用いた厚膜レジストパタン形成とマイクロ部品製造への応用

Author (2)： HIROTA KATSUNORI (東京電機大 大学院) ,  HORIUCHI TOSHIYUKI (東京電機大 大学院)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 70  Issue： 1  Page： 138-143  Publication year： Jan. 05, 2004 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *micromachine ,...

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JST classification (2)： Gears,gear units  (QB01060O) ,  Electroplating  (WC08023B)

Reference (8)：

• KONG, Seogho. T.IEE Japan. 1997, 117-E, 1, 10
• CHANG-HYEON, JI. Jpn. J. Appl. Phys. 2000, 39, 7138
• UNNO, Toshinori. T.IEE Japan. 2002, 122-E, 5, 249
• BECKER, E. W. Microelectronic Engineering. 1986, 4, 35
• U. S. Patent. 1989, 4882245

Terms in the title (9)： 開口数 ,  投影 ,  露光 ,  リソグラフィ ,  厚膜 ,  レジスト ,  パタン形成 ,  マイクロ部品 ,  応用