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J-GLOBAL ID：200902212801874001   Reference number：07A1078212

Real-time monitoring of successive sparks in high-density plasma chambers

高密度プラズマチャンバ内での継続したスパークの実時間監視

Author (4)： SATO Michio (Inst. of Fluid Sci., Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, Japan and Harada Corp., 2-10-14 ...) ,  OHTAKE Hiroto (Inst. of Fluid Sci., Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN) ,  SUZUKI Koichi (Harada Corp., 2-10-14 Minami-Senba, Chyuo-ku, Osaka, 542-0081, JPN) ,  SAMUKAWA Seiji (Inst. of Fluid Sci., Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN)
Material： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science and Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films)
Volume： 25  Issue： 6  Page： 1594  Publication year： Nov. 2007 
JST Material Number： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *electron cyclotron resonance plasma ,...

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JST classification (1)： Plasma diagnostics  (BJ02090L)

Terms in the title (5)： 高密度プラズマ ,  チャンバ ,  継続 ,  スパーク ,  実時間