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J-GLOBAL ID：200902217550705002   Reference number：03A0422018

Development of the Measurement System with Interferometers for Ultraprecise X-ray Mirror

高精度X線ミラーのための干渉計を利用した形状計測システムの開発

Author (9)： YAMAUCHI KAZUTO (大阪大 大学院工学研究科) ,  YAMAMURA KAZUYA (大阪大 大学院工学研究科 超精密科研セ) ,  MIMURA HIDEKAZU (大阪大 大学院工学研究科) ,  SANO YASUHISA (大阪大 大学院工学研究科) ,  KUBOTA AKIHISA (大阪大 大学院工学研究科) ,  SEKITO YASUHIRO (大阪大 大学院工学研究科) ,  UENO KAZUMASA (大阪大 大学院工学研究科) ,  SOUVOROV A (高輝度科学研究セ) ,  TAMASAKU KENJI (理研)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 69  Issue： 6  Page： 856-860  Publication year： Jun. 05, 2003 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *shape measurement ,...
Semi thesaurus term： Fizeau interferometer ,...

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JST classification (3)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O) ,  Interferometry and interferometers  (BD07070G) ,  X-ray instruments and techniques  (BA02060D)

Reference (11)：

• 1) P.Takacs, S.Qian, J.Colbert: Design of long trace surface profiler, SPIE 749 (1987) 59.
• 2) H.Li, P.Takacs, T.Oversluizen: Vertical scanning long trace profiler, SPIE 3152 (1997) 180.
• 3) 根岸真人:高精度自由曲面形状測定装置の開発,精密工学会誌,67,(2001)632.
• 4) Y. Mori, K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, A. Saito, H. Kishimoto, Y. Sekito, M. Kanaoka, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa: Development of Plasma Chemical Vaporization Machining and Elastic Emission Machining Systems for Coherent X-ray Optics, Proc. SPIE, 4501 (2001) 30.
• 5) 山内和人,山村和也,三村秀和,佐野泰久,久保田章亀,金岡政彦,Alexei Souvorov 玉作賢治矢橋牧石川哲也: 硬X線用斜入射平面ミラーの形状誤差が反射X線強度・位相分布に及ぼす影響の波動光学的評価, 精密工学会誌, 掲載予定.

Terms in the title (4)： X線ミラー ,  干渉計 ,  形状計測 ,  開発