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J-GLOBAL ID：200902277081810633   Reference number：03A0487981

Wave-optical evaluation of reflected X-ray intensity and wavefront distribution in total reflection hard X-ray by mirror optics.

硬X線用斜入射平面ミラーの形状誤差が反射X線強度・位相分布に及ぼす影響の波動光学的評価

Author (9)： YAMAUCHI KAZUTO (大阪大 大学院工学研究科) ,  YAMAMURA KAZUYA (大阪大 大学院工学研究科 超精密科研セ) ,  MIMURA HIDEKAZU (大阪大 大学院工学研究科) ,  KUBOTA AKISHISA (大阪大 大学院工学研究科) ,  KANAOKA MASAHIKO (大阪大 大学院工学研究科) ,  SOUVOROV A (高輝度光科学研究セ) ,  TAMASAKU KENJI (理研) ,  ISHIKAWA TETSUYA (理研) ,  MORI YUZO (大阪大 大学院工学研究科 超精密科研セ)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 69  Issue： 7  Page： 997-1001  Publication year： Jul. 05, 2003 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *reflecting mirror ,...

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JST classification (2)： Optical instrument elements and their materials  (QF05020K) ,  Special machining  (QC04000Y)

Reference (12)：

• 1) T. Ishikawa, K. Tamasaku, M. Yabashi, S. Goto, Y. Tanaka, H. Yamazaki, K. Takeshita, H. Kimura, H. Ohashi, T. Matsushita, and T. Ohata: One kilometer beamline at SPring-8, Proc. SPIE, 4154(2001) 1.
• 2) J. Arthur and R. Tatchyn: Radiation Properties of Linac Coherent Light Source: Challenges for X-ray Optics, Proc. SPIE 4143 (2001) 1-8.
• 3) Y. Mori, K. Yamauchi, K. Yamamura, H. Mimura, A. Saito, H. Kishimoto, Y. Sekito, M. Kansoka, A. Souvorov, M. Yabashi, K. Tamasaku, T. Ishikawa: Development of Plasma Chemical Vaporization Machining and Elastic Emission Machining Systems for Coherent X-ray Optics, Proc. SPIE, 4501 (2001) 30.
• 4) 森勇藏,山内和人,杉山和久,稲垣耕司,三村秀和,今井利幸:数値制御 EEM(Elastic Emission Machining)加工システムの開発-nmオーダでの加工精度の評価-,精密工学会誌,67(2001)607.
• 5) 森勇藏,山村和也,佐野泰久:数値制御プラズマCVMによるX線ミラーの加工に関する研究(第1報)-X線ミラー加工装置の開発-,精密工学会誌,67(2001)131.

Terms in the title (7)： 硬X線 ,  斜入射 ,  ミラー ,  形状誤差 ,  位相分布 ,  波動 ,  光学的評価