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J-GLOBAL ID：200902219101795784   Reference number：09A0136234

Mode Transition Enhancement by Permittivity of Window Materials in Low Frequency Plasmas

低周波プラズマにおける窓材料の誘電率によるモード転移促進

Author (5)： JINBO Yousuke (ULVAC Inc., Kanagawa, JPN) ,  KITAMURA Yuichi (Tokai Univ., Kanagawa, JPN) ,  KUSABA Kouta (Tokai Univ., Kanagawa, JPN) ,  KIKUCHI Masashi (ULVAC Inc., Kanagawa, JPN) ,  SHINDO Haruo (Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
Material： Applied Physics Express  (APEX)
Volume： 2  Issue： 1  Page： 016001.1-016001.3  Publication year： Jan. 25, 2009 
JST Material Number： F0599C  ISSN： 1882-0778  CODEN： APEPC4  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *plasma ,  inductively coupled plasma ,  *electron density ,  frequency (Hz) ,  *permittivity ,  *mode ,  phase transition ,  capacitively coupled plasma
Semi thesaurus term： モード転移

JST classification (1)： Plasma in general  (BJ02010B)

Reference (8)：

• UCHIDA, T. Jpn. J. Appl. Phys. 1994, 33, L43
• SCHAEPKENS, M. J. Vac. Sci. Technol. A. 1999, 17, 3272
• SHINDO, H. Appl. Phys. Lett. 2000, 76, 1246
• SHINDO, H. Jpn. J. Appl. Phys. 1999, 38, L1066
• SHINDO, H. Jpn. J. Appl. Phys. 2002, 41, L956

Terms in the title (4)： 低周波プラズマ ,  窓材 ,  誘電率 ,  促進